纳米电子学

纳米电子学   

以量子化功能器件为基础的新型微电子学。包括半导体纳米电子学、超导体纳米电子学、纳米光电子学以及混合纳米电子学。其器件尺寸将小于电子平均自由程,即小于电子的德布罗意波长,器件的行为将表现出强烈的波动性,故有时亦称为电子波电子学。主要研究器件的量子效应和电子运动过程,特别是尺寸效应以及新物理现象;新型电路和系统设计;新型器件结构以及超微细加工技术,包括原子植入与移走的纳米器件加工技术。