微系统

具有完整功能的集成系统。其宗旨为使多功能系统微型化，是包含微传感器、微光学器件、微执行器、微机械、硅微电机、模拟信号处理器、数字信号处理器、电源、系统控制器以及各种特殊界面的综合系统。